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用于紫外曝光
▶ 使用光纤激光器,输出功率可达50w
▶ 工作波长405/380nm
▶ 使用光刻复眼,实现高均匀性和小入射角
▶可定制曝光区域形状和幅面尺寸
根据客户不同需求定制